2005年5月17日,公司前身盛美半導體設備(上海)有限公司成立。 2019年11月21日,盛美有限整體變更爲股份有限公司,公司名稱由盛美半導體設備(上海)有限公司變更爲盛美半導體設備(上海)股份有限公司。
