2005年5月17日,公司前身盛美半导体设备(上海)有限公司成立。 2019年11月21日,盛美有限整体变更为股份有限公司,公司名称由盛美半导体设备(上海)有限公司变更为盛美半导体设备(上海)股份有限公司。
