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南大光電(300346.SZ):“先進光刻膠產品開發與產業化”項目通過驗收
格隆匯 07-29 19:46

格隆匯7月29日丨南大光電(300346.SZ)公佈,公司作為牽頭單位,承擔的國家科技重大專項(02專項)“極大規模集成電路製造裝備及成套工藝”之先進光刻膠產品開發與產業化項目(項目編號:2018ZX02402項目”或“本項目”), 今日收到極大規模集成電路製造裝備及成套工藝實踐管理辦公室下發的項目綜合績效評價結論書,項目通過專家組驗收。

項目總體目標是開發高端集成電路製造用ArF 乾式與浸沒式光刻膠成套工藝技術,形成規模化生產能力;構建與集成電路行業國際先進水平接軌的技術和管理人才團隊,建立完善的技術開發、生產運行、品質管理、市場開拓運行體系和ArF 光刻膠產業自主發展相應的知識產權體系。

該項目分為三個子課題,其中公司控股子公司寧波南大光電材料有限公司(“寧波南大光電”)承接的課題名為:ArF 光刻膠產品的開發產業(課題編號:2018ZX02402001)。該子課題主要在以下方面開展研究:1ArF 光刻膠產品配方及工藝的開發;2、配方關鍵組分材料的開發;3ArF 刻膠產品及關鍵組分的分析測試能力的研究;4ArF 光刻膠的產業化研究。

在項目驗收過程中,專家組依據有關規定,聽取了公司關於項目任務及財務執行完成情況彙報、現場測試組的測試報吿、用户報吿、審計報吿及預算調劑申請報吿等查閲了檔案資料,經過質詢和討論,一致認定項目已經完成了任務合同書中規定的各項考核指標。專家組同意項目通過績效評價收。

驗收專家組認為: 1、光刻膠是集成電路生產過程中的關鍵材料,通過本項目的實施,掌握了ArF乾式和浸沒式系列光刻膠產品的原材料製備、配膠、分析檢測、應用驗證等關鍵技術,在知識產權和人才培養等方面取得重要進展形成了由51人組成ArF 光刻膠研發與生產管理團隊,建成了ArF光刻膠產品(包括乾式和浸沒式)的質量控制平台年產5噸的乾式ArF光刻膠及年產20噸的浸沒式ArF光刻膠產業化生產線建立了科研經費管理相關的財務制度,並能有效執行;申請專利91項,其中國內發明專利81項,國際發明專利4項,實用新型專利6項(已授權),制定團體標準3項,研製新產品2項;實現ArF光刻膠產品銷完成了任務合同書規定的主要考核指標。這是我國集成電路關鍵材料自主創新的一個重要成果。

2、寧波南大光電已建成年產25ArF光刻膠產業化基地,具備進一步擴大生產的能力,建議抓住機遇,儘快擴產。

ArF 光刻膠材料是集成電路製造領域的重要關鍵材料,可以用於 90nm-14nm甚至 7nm技術節點的集成電路製造工藝廣泛應用於高端芯片制造(如邏輯芯片、 存儲芯片、AI 芯片、5G 芯片和雲計算芯片等)。長期以來,國內高端光刻膠市場長期為國外巨頭所壟斷,對我國芯片製造具有“卡脖子”風險。儘快實現先進光刻膠材料全面國產化和產業化具有十分重要的戰略意義和經濟價值。本項目研發任務的圓滿完成預計將對公司光刻膠事業的未來發展產生積極影響。

公司目前的ArF 光刻膠產品尚未實現規模量產。ArF 光刻膠的複雜性決定了其在穩定量產階段仍然存在工藝上的諸多風險,不僅需要技術攻關,還需要在應用中進行工藝的改進、完善。同時,ArF 光刻膠產品國產化替代受品質、客户的嚴格要求,續是否能取得下游客户的大批量訂單,能否大規模進入市場仍存在較多的不確定性。這些都會影響ArF 光刻膠的量產規模和經濟效益。敬請廣大投資者注意投資風險。

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