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南大光电(300346.SZ):“先进光刻胶产品开发与产业化”项目通过验收
格隆汇 07-29 19:46

格隆汇7月29日丨南大光电(300346.SZ)公布,公司作为牵头单位,承担的国家科技重大专项(02专项)“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”之先进光刻胶产品开发与产业化项目(项目编号:2018ZX02402项目”或“本项目”), 今日收到极大规模集成电路制造装备及成套工艺实践管理办公室下发的项目综合绩效评价结论书,项目通过专家组验收。

项目总体目标是开发高端集成电路制造用ArF 干式与浸没式光刻胶成套工艺技术,形成规模化生产能力;构建与集成电路行业国际先进水平接轨的技术和管理人才团队,建立完善的技术开发、生产运行、品质管理、市场开拓运行体系和ArF 光刻胶产业自主发展相应的知识产权体系。

该项目分为三个子课题,其中公司控股子公司宁波南大光电材料有限公司(“宁波南大光电”)承接的课题名为:ArF 光刻胶产品的开发产业(课题编号:2018ZX02402001)。该子课题主要在以下方面开展研究:1ArF 光刻胶产品配方及工艺的开发;2、配方关键组分材料的开发;3ArF 刻胶产品及关键组分的分析测试能力的研究;4ArF 光刻胶的产业化研究。

在项目验收过程中,专家组依据有关规定,听取了公司关于项目任务及财务执行完成情况汇报、现场测试组的测试报吿、用户报吿、审计报吿及预算调剂申请报吿等查阅了档案资料,经过质询和讨论,一致认定项目已经完成了任务合同书中规定的各项考核指标。专家组同意项目通过绩效评价收。

验收专家组认为: 1、光刻胶是集成电路生产过程中的关键材料,通过本项目的实施,掌握了ArF干式和浸没式系列光刻胶产品的原材料制备、配胶、分析检测、应用验证等关键技术,在知识产权和人才培养等方面取得重要进展形成了由51人组成ArF 光刻胶研发与生产管理团队,建成了ArF光刻胶产品(包括干式和浸没式)的质量控制平台年产5吨的干式ArF光刻胶及年产20吨的浸没式ArF光刻胶产业化生产线建立了科研经费管理相关的财务制度,并能有效执行;申请专利91项,其中国内发明专利81项,国际发明专利4项,实用新型专利6项(已授权),制定团体标准3项,研制新产品2项;实现ArF光刻胶产品销完成了任务合同书规定的主要考核指标。这是我国集成电路关键材料自主创新的一个重要成果。

2、宁波南大光电已建成年产25ArF光刻胶产业化基地,具备进一步扩大生产的能力,建议抓住机遇,尽快扩产。

ArF 光刻胶材料是集成电路制造领域的重要关键材料,可以用于 90nm-14nm甚至 7nm技术节点的集成电路制造工艺广泛应用于高端芯片制造(如逻辑芯片、 存储芯片、AI 芯片、5G 芯片和云计算芯片等)。长期以来,国内高端光刻胶市场长期为国外巨头所垄断,对我国芯片制造具有“卡脖子”风险。尽快实现先进光刻胶材料全面国产化和产业化具有十分重要的战略意义和经济价值。本项目研发任务的圆满完成预计将对公司光刻胶事业的未来发展产生积极影响。

公司目前的ArF 光刻胶产品尚未实现规模量产。ArF 光刻胶的复杂性决定了其在稳定量产阶段仍然存在工艺上的诸多风险,不仅需要技术攻关,还需要在应用中进行工艺的改进、完善。同时,ArF 光刻胶产品国产化替代受品质、客户的严格要求,续是否能取得下游客户的大批量订单,能否大规模进入市场仍存在较多的不确定性。这些都会影响ArF 光刻胶的量产规模和经济效益。敬请广大投资者注意投资风险。

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