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同飛股份(300990.SZ):半導體器件製造設備專用温控設備主要應用於刻蝕、PVD、CVD等半導體器件加工工藝過程
格隆匯 08-16 21:09

格隆匯8月16日丨有投資者向同飛股份(300990.SZ)提問,“公司參加了十一屆(2023年)半導體設備材料與核心部件展示會,會上表示,公司2022年開始佈局半導體行業,公司的產品能應用於半導體行業的刻蝕設備、塗布顯影設備、試驗機等應用場景。請簡單介紹一下,公司的什麼產品能應用於半導體行業,以及公司產品在半導體行業應用的優勢在哪裏?”

同飛股份回覆稱,公司的半導體器件製造設備專用温控設備是針對其高精度、高可靠性而設計開發的專用設備,能夠不間斷的提供温度可控的循環液,保障半導體器件製造設備腔室所需的工藝加工温度,滿足温度變化範圍大、負載瞬間變化、設定温度隨時改變等工況要求,能夠達到±0.1℃甚至更高温控精度,主要應用於刻蝕、PVD、CVD等半導體器件加工工藝過程。

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