上海新陽(300236.SZ):擬在上海化學工業區投建項目 以開發集成電路關鍵工藝材料
格隆匯2月14日丨上海新陽(300236.SZ)公佈,為了進一步鞏固在國內半導體材料行業的領先地位,實現我國集成電路關鍵工藝化學材料的自主可控,公司擬與上海化學工業區管理委員會、上海化學工業區發展有限公司簽訂《投資意向協議》,變更全資子公司上海芯刻微材料技術有限責任公司註冊於上海化學工業區,並啟動位於上海化學工業區的項目(以下簡稱“項目”)建設,該項目主要用於開發集成電路關鍵工藝材料。經初步測算,該項目總投資金額約為5.8億元人民幣,佔地約104畝。
項目預計年產500噸I線、KrF、ArF幹/濕法光刻膠;年產10000噸光刻膠稀釋劑;年產5000噸高選擇比氮化鈦刻蝕液系列產品;年產15000噸幹法蝕刻清洗液系列產品。項目擬於2023年取得施工許可證,2025年底前竣工,2026年6月底前投產。
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