近日，工信部等多個部委召開工業氣體“卡脖子”問題協調工作會議，系統梳理我國工業氣體現狀，協調推進解決制約行業發展的“卡脖子”問題。

作為一個工業細分行業，工業氣體廣泛應用於鋼鐵、石化等傳統產業，以及電子半導體、醫療、食品等成長性行業。

電子氣體最“卡”

“準確的講，‘卡脖子’的是‘電子大宗氣體’和‘電子特氣’。”對於工業氣體“卡脖子”問題，原林德集團中國區電子事業部業務總經理白久介紹，國內非電子氣體已經具有一定的國際競爭力，但由於技術和設備製造能力等因素，國內電子氣體的競爭力還比較弱。

華特氣體相關人員表示，工業氣體“卡脖子”主要體現在大規模集成電路、新型顯示面板等高端領域，在集成電路領域體現得尤為明顯。

公開資料顯示，在半導體用電子氣體市場中，德國林德集團、美國空氣化工、法國液化空氣等公司控制着全球近八成的市場份額，控制了我國近九成的市場份額，我國電子氣體行業受制於人的局面較為嚴重。

中國半導體產業為什麼被電子氣體“卡脖子”？

“就電子大宗氣體來説，其對半導體產業卡在四個層面。”白久介紹説，一是外資巨頭在中國只做頭部客户，對中國新興半導體項目支持度不足，卡了新項目的脖子；第二，中國本土公司在電子大宗氣體項目的技術方案、項目執行、後續運營等環節都存在經驗不足，給動輒投資數十億上百億的半導體項目帶來很大風險；第三，從晶圓廠到存儲器再到第三代化合物，半導體家族不斷擴容，對氣體品種需求越來越多，對氣體質量要求越來越嚴苛，本土公司在經驗不足的情況下又面臨新挑戰，難以給出有效的氣體解決方案；第四，中國亟需富有經驗的國際團隊來開拓本土電子氣體產業，服務本土晶圓廠。

就電子特氣來説，白久認為形勢更嚴峻。“五六十種最重要的電子特氣中，我們實現國產化的比例不足1/3。”白久稱，由於電子特氣具有易燃、易爆、有毒、有害等特性，電子特氣公司在自身技術水平儲備不足的情況下，還要受到政策法規等限制要求，往往難以實現特氣的量產化。

國產化市場空間大

電子氣體的市場有多大？

“電子特氣的全球市場規模則接近50億美元。”白久表示，在半導體材料中，電子特氣是價值量佔比僅次於硅片的第二大原材料，在全球半導體材料市場的佔比約為14%。

東莞證券的研報顯示，2017年中國的特種氣體市場規模已達到約178億元，預期此後5年將以平均超過15%的年增長率高速增長，到2022年中國特種氣體市場規模將達到411億元。

白久稱，正是因為看到了電子氣體國產化的機會和市場空白，他招募外資電子氣體從業人員組建團隊創立宏芯氣體，期望通過技術創新和科技研發，打破外資壟斷，填補國內空白，服務本土半導體公司。

多家上市公司有突破

隨着中國集成電路產業大發展，我國的特種氣體產業也在逐步發展，華特氣體、金宏氣體、雅克科技等上市公司在一些特氣品種上也取得了一定的進展。

華特氣體表示，通過十幾年的研發，公司在高純六氟乙烷、高純三氟甲烷、光刻氣、高純四氟化碳、高純二氧化碳、高純一氧化碳、高純八氟丙烷、高純一氧化氮等近20個產品上實現了進口替代。目前，華特氣體已經覆蓋了國內80%的8英寸晶圓廠。

作為工業大宗氣體龍頭，金宏氣體也瞄準了電子氣體，公司上市募投項目之一便是張家港金宏氣體有限公司超大規模集成電路用高純氣體項目，項目總投資2.1億元。目前，公司的電子特種氣體產品主要包括超純氨、高純氫、高純氧化亞氮、硅烷混合氣、八氟環丁烷等。公司在2020年12月公吿，公司自主研發的高純氧化亞氮、超純氨產品近日成功通過中芯國際的稽核認證，等待測試。

雅克科技子公司成都科美特在六氟化硫與四氟化碳的生產工藝上具有核心技術。六氟化硫在國內外被廣泛應用於電力設備中的輸配電及控制設備行業，四氟化碳被廣泛應用於國內外半導體制造、平板顯示、太陽能薄膜等行業。