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芯碁微裝 (688630)

2015年6月30日,公司前身合肥芯碁微電子裝備有限公司成立。 2019年10月15日,公司名稱由合肥芯碁微電子裝備有限公司更名爲合肥芯碁微電子裝備股份有限公司。