2002年12月17日,公司前身瀋陽芯源先進半導體技術有限公司成立。 2007年4月9日,公司名稱由瀋陽芯源先進半導體技術有限公司變更爲瀋陽芯源微電子設備有限公司。 2019年3月29日,公司名稱由瀋陽芯源微電子設備有限公司變更爲瀋陽芯源微電子設備股份有限公司。