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芯源微 (688037)

2002年12月17日,公司前身沈阳芯源先进半导体技术有限公司成立。 2007年4月9日,公司名称由沈阳芯源先进半导体技术有限公司变更为沈阳芯源微电子设备有限公司。 2019年3月29日,公司名称由沈阳芯源微电子设备有限公司变更为沈阳芯源微电子设备股份有限公司。